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液環泵
雖然液環泵屬於粗蜜桃永久免费,但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。液環泵工作原理在國外,液環泵的銷售額占全部蜜桃永久免费市場的14%,僅次於幹泵,由於液環泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有競爭優勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。
滑閥泵
由於滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及幹燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作夥伴。為了使國產滑閥泵能夠進入市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。
羅茨泵
從國外羅茨泵生產情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空係統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入市場,這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進泵的外觀質量,提高泵內的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。
國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由於這種泵在排氣口的下麵裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前麵加一台氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由於在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬於幹泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和蜜桃视频黄色网站。
直聯旋片泵
隨著真空技術在各個蜜桃视频黄色网站領域的不斷擴大,直聯旋片泵的需求量越來越大。由於這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關,價格又遠比國外的泵便宜,所以國產泵仍然有競爭優勢,關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和蜜桃永久免费油的性能質量問題,確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠,同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。
分子泵
分子泵在國外半導體領域裏的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用複合分子泵和牽引泵作為主泵。由於分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上蜜桃视频黄色网站,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國蜜桃永久免费製造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整係列,以滿足不同場合的需要。
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